真空ホットプレートチャンバー 「PH-224D型」
金属、ウエハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での加熱プロセス、材料評価
真空ホットプレートチャンバー 「PH-224D型」は、金属、ウエハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での加熱プロセス、材料評価に最適です。 【仕様カスタマイズ】 ○温度制御範囲 室温~200℃ ○プレートサイズ 200×200mm ○圧力範囲 -100KPa(真空)~0.02MPa(N2ガス充填時) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社MSAファクトリー
- 価格:応相談